正文 离子注入机实现全谱系产品国产化 国产芯片产业迎来好消息！ bang V管理员 /2022-05-09/118阅读/0评论 0509 据媒体消息，3月17日，中国电子科技集团有限公司对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 离子注入机实现全谱系产品国产化 -- 展开阅读全文 --
